교육 시간표

※ 과 정 명 : 반도체 소자 제작 공정 실무

일자	시간	과목명	세부내용
1일차	09:00 -12:00	반도체 제조공정 단위공정 최적화하기	과정 소개 반도체 8대 공정 소개
	12:00 -13:00	중 식(중식지원)
	13:00 -16:00	반도체 제조공정 단위공정 최적화하기	반도체 8대 공정 소개
	16:00 -18:00	반도체 제조공정 공정흐름도 해석하기	CMOS 직접 공정 이론
2일차	09:00 -12:00	반도체 제조공정 공정장비 운용하기	Fab-In to Buffer Oxidation 1.0 Active Patterning
	12:00 -13:00	중 식(중식지원)
	13:00 -18:00	반도체 제조공정 공정장비 운용하기	1.0 Active Patterning STI Etch Damage Curing STI Gap-Fill @PECVD & Densification
3일차	09:00 -12:00	반도체 제조공정 공정장비 운용하기	1.5 Active Patterning SiN Removal
	12:00 -13:00	중 식(중식지원)
	13:00 -18:00	반도체 제조공정 공정장비 운용하기	Well Annealing Pad Oxide Etch
4일차	09:00 -12:00	반도체 제조공정 공정장비 운용하기	Sacrificial Oxidation Standard Cleaning
	12:00 -13:00	중 식(중식지원)
	13:00 -18:00	반도체 제조공정 공정장비 운용하기	Gate Oxidation Gate Poly-Si Deposition
5일차	09:00 -12:00	반도체 제조공정 공정장비 운용하기	4.0 Gate Patterning P+S/D Doping & ILD Deposition
	12:00 -13:00	중 식(중식지원)
	13:00 -18:00	반도체 제조공정 공정장비 운용하기	P+S/D Doping & ILD Deposition 7.0 Contact Patterning Aluminum Evaporation
6일차	09:00 -12:00	반도체 제조공정 공정장비 운용하기	8.0 Metal Patterning Alloy & Fab-Out
	12:00 -13:00	중 식(중식지원)
	13:00 -18:00	반도체 제조공정 계측 운용 및 평가하기	Probe Station 사용법 교육 MOSFET 측정
7일차	09:00 -11:00	반도체 제조공정 계측 운용 및 평가하기	MOSFET 측정
	11:00 -12:00	반도체 제조공정 단위소자 개발하기	측정 데이터 분석 및 발표 자료 준비
	12:00 -13:00	중 식(중식지원)
	13:00 -18:00	반도체 제조공정 단위소자 개발하기	측정 데이터 분석 및 발표 자료 준비 팀별 발표 평가 시험 및 과정 정리